光刻机是生产制造芯片的主要设备,没有先进的光刻机,自然就无法生产制造先进制程的芯片。
在光刻机厂商中,ASML的技术最为先进,几乎占领了中高端市场,尤其是ASML研发制造的EUV光刻机,其是生产制造Seven 纳米及以下芯片的必要设备。
虽然用DUV光刻机也能够生产制造Seven 纳米,但其存在成本高、工艺复杂以及良品率低等问题,所以在Seven 纳米及以下芯片上,基本上都是采用EUV光刻机。
但EUV光刻机在2015年被研发制造出来以后,其产能一直都比较低,目前才总共出货才100台,并且一半以上都交付了台积电。数据显示,三星也想要更多EUV光刻机,无奈ASML根本无法生产出来,并且,ASML还积压了几十亿欧元的EUV光刻机订单。也就是说,从EUV光刻机被制造出来开始,其就面临供不应求的问题,而且,ASML的产能没有大幅度提升。
但就在近日,外媒传来消息,ASML突然大提速,加速生产制造更多EUV光刻机。
消息称,ASML预计在2021年生产制造45台EUV光刻机,仅后半年就将交付25台;2021年生产制造55台;2022年则是60台。相当于是3年生产160台EUV光刻机。
要知道,在2019年ASML仅生产制造了26台EUV光刻机,而2020年生产制造了30台EUV光刻机,虽然产能也在逐年提升,但产能提升幅度不大。进入2021年后,尤其是进入2021年后半年,ASML才突然提速EUV光刻机的产能,这至少有三方面的含义。
首先,EUV光刻机需求太大了,不提速不行了。
据悉,三星明确表示想要更多EUV光刻机,结果因为ASML产能的问题,其在韩国投资2亿美元建设EUV光刻机再制造工厂。另外,台积电和英特尔都积极扩大芯片产能,尤其是先进制程芯片的产能,这自然需要更多EUV光刻机。再加上,ASML已经积压了几十亿欧元的EUV光刻机订单。
也就是说,巨大的EUV光刻机需求以及积压的订单,已经让ASML不得不提速生产了。
其次,E技术正在普及。
EUV光刻机原本就用于非储存芯片的生产制造,简单就是说用于生产高通、苹果、AMD以及华为海思厂商等Seven芯片及以下制程的芯片。如今,EUV光刻机也开始用于储存芯片的制造,像三星、SK以及海力士等储存芯片企业也开始用EUV光刻机进行制造。
不仅如此,其还将EUV应用层从1提升到5,这就意味着其需要更多的EUV光刻机。关键是,生产5nm等非储存芯片,每个EUV层面仅需要一台EUV光刻机,但生产制造16nm以下的储存芯片,每个EUV层面需要1.5到2台EUV光刻机。
也就是说,无论是生产储存芯片还是非储存芯片都在用EUV光刻机,这说明EUV技术正在普及,自然就需要更多EUV光刻机。
最后,ASML提速也是为了实现自由出货。
EUV光刻机是ASML营收和利润的主要贡献者,毕竟其售价高,单台售价是DUV光刻机的好几倍。但是,ASML的EUV光刻机却不能自由出货,尽管ASML多次申请许可,甚至还发出了警告,结果依旧没有实现。
如今,EUV技术正在普及,储存芯片和非储存芯片的生产制造都在使用EUV光刻机,而ASML加速提升EUV光刻机的产能,自然能够加速EUV技术的普及。
也就是说,EUV技术普及和大量的EUV光刻机被生产制造出来,ASML或许就能够实现自由出货,因为普及的技术就不再是最先进的技术了。
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